針對異質結太陽電池量產研發(fā)，提供如下圖所示熱絲CVD主工藝機臺、上下料自動化整體方案，并可配套24.7%效率的baseline工藝。該方案特點：鍍膜順序可任意調整；每層膜的載板完全獨立，無交叉污染；可達到最優(yōu)的膜層性能。

　?。▓D片僅供參考）

設備基本情況如下：
　　?  設備由4臺熱絲CVD鍍膜設備和1套自動化上下料系統(tǒng)構成；
　　?  4臺設備分別可以進行P、I、I、N型非晶硅/微晶硅/摻氧微晶硅膜的制備；可根據要求再額外配置其它的氣路。
　　?  每臺設備有1個載板上下料的掛架、1個Load/Unload腔體、1個鍍膜工藝腔構成；
　　?  單個載板可以放置9片尺寸為156-182mm之間的硅片。
　　?  可根據客戶需要，任意調整鍍膜的順序、膜厚、層數等；
　　?  可根據用戶需求調整腔體個數等方案。
　　?  可以編輯工藝菜單，實現由花籃上料到花籃下料的全過程自動控制；也可手動控制。
　　?  每天（8小時）可完成400片以上的異質結用硅薄膜鍍膜。
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